Прибирання кімнати з точністю до певної області космічного пилу в повітрі, шкоди від газів, шкідливих бактерій, таких як викид забруднень, а також температури в приміщенні, чистоти, тиску всередині придушення, швидкості циклону, розсіяного циклону, шуму, вібрації та освітлення обладнання, статичний контроль у певній специфікаційній області та надати спеціальний сформульований простором. Тобто, незалежно від того, як змінюється зовнішнє повітряне середовище, повітря може підтримувати чистоту, температуру і вологість, тиск та інші робочі характеристики початково встановлених стандартів.
Основна функція кімнати для прибирання полягає в тому, щоб контролювати градусо-дні очищення, а також температуру та вологість повітря, на які піддаються продукти підприємства (наприклад, кремнієві мікросхеми тощо), щоб продукція підприємства могла виготовлятися в добре упорядкованому регіональному приміщенні. екологічний простір, який відомий як кімната для прибирання. Відповідно до конвенції, ступінь чистого очищення в основному визначається відповідно до кількості частинок у кожному кубічному метрі повітря, діаметр якого перевищує специфікацію поділу. Іншими словами, чистота полягає не у відсутності трохи пилу, а в дуже малій кількості одиниць. Звичайно норма
Відповідно до стандартних частинок пилу порівняно з сухим пилом тепер невелика мікроплоска його мікро, але для електронної оптичної структури навіть невелика кількість пилу є дуже великим несприятливим ефектом, тому в електронній оптичній структурі корпоративні продукти
У минулому чистота була необхідною нормою.
Кількість дрібного сухого пилу з розміром частинок A 0,3 мікрона контролюється нижче 3500 на кубічний метр, що відповідає класу A міжнародного стандарту чистоти. Поточна чиста специфікація, яка використовується у виробництві стружки та обробці пилу, має високий рівень сухого класу А, і такі високі стандарти використовуються в основному
- Деякі чіпи вищого класу виробляються на. Кількість дрібного пилу розміром 0.5 мкм і нижче суворо контролюється в межах 1000 на кубічний метр, що зазвичай називають тисячним сортом у промисловості.
Стани чистих приміщень класифікуються на наступні три типи
Кондиціонер: чистий тариф (обладнання), який був побудований і готовий до експлуатації. Він має всі гарантії та функції, пов'язані зі швидкістю чистоти. Проте в межах чистої ставки немає операторів і виробничого обладнання.
Статичні: усі типи чистих приміщень повністю функціональні, обладнання встановлено належним чином, і чисте приміщення (обладнання) можна використовувати або використовувати відповідно до налаштувань, але в чистій кімнаті немає роботи.
Динамічний: чисте приміщення при нормальному використанні, функція чистого приміщення завершена, обладнання та персонал, якщо це необхідно, можуть нормально працювати.